等离子体表面处理仪的工作原理如下：在真空环境中提供电场，在电场的作用下，带正电的电荷和电子等相互碰撞电离进行辉光放电形成等离子体。电离产生的活性基团携带巨大的动能，可以破坏材料表面的化学键及分子间作用力，与断键的离子或独立的分子发生化学反应。
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